深冷液氮传输控制工程

 

HALT机台快速温变依赖纯液氮（-196℃）降温，HALT管道方案设计需确保液氮到达机台内部为纯液状态，

需符合机台温变速率大于70℃/min的出厂规格，并于到达设定点10分钟后曲线保持稳定。

管道工程为高单价一次性工程，不良的设计建制会造成高昂的成本浪费，需要前期进行整体规划考量。

本司提供HALT专用液氮高真空管道3D设计，让设计一目了然，代客统包用液方案交钥匙工程。

超低温真空管道:

客制化液氮电气控制系统（液氮制冷控制整体方案）

方案可应用于国内HALT机台自主研发，液氮快冷设备等。电子式控制低温控制阀组，进口真空套件，依客户尺寸进行定制化。

此液氮真空控制阀组及液氮雾化制冷系统，已成熟应用于国外的HALT机台多年，并得到市场认可，温变速度可达70℃/分钟。

液氮管道系统配件:keepfull（气液分离器），架设在管道系统的顶端，排除多余的氮气，提升管道液体含量，达成机台性能。

 高真空管道3D设计:液氮塔(推荐)

 高真空管道3D设计:液氮杜瓦瓶

 液氮管道设计要点: